学术讲座
报告题目：微纳加工技术中的科学原理
报告时间：2021-01-21 14:30
报 告 人：李西军 研究员
西湖大学先进微纳加工与测试平台
浙江省3D微纳加工与和表征研究重点实验室
报告地点：卢嘉锡楼202报告厅
摘要：
自集成电路芯片发明以来，为提高单位面积半导体器件密度而形成的微米纳米精度的芯片加工工艺已经被广泛地应用到很多科学研究领域，如微纳光子学、纳米磁学、量子计算器件、生物医学等领域。过去10多年在国内外的微纳加工平台工作中，笔者发现绝大多数的用户因为对微纳加工工艺本身的科学原理缺乏深入的理解，导致他们的实验研究因缺乏有效的工艺改进和集成能力而产生不必要的延误。 本报告旨在分享笔者在过去16年中对微纳加工工艺，尤其是电子束曝光、真空等离子刻蚀等工艺中涉及的物理和化学原理的心得，鼓励和帮助微纳加工平台的用提升更好的工艺能力和工艺集成能力。 本报告也分享微纳平台管理和用户之间的一些趣事。
报告人简介：
李西军，男，西湖大学研究员，浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任、西湖大学先进微纳加工和测试平台主任，浙江省特聘专家。2000年毕业于中国工程物理研究院研究生部，师从经福谦院士，获理学博士学位。2001年获得日本学术振兴组织资助，到日本做JSPS博士后，现在从事微纳加工工艺研究和微纳加工装备的开发，先后在半导体材料和集成微纳光学领域发表或共同发表论文40余篇，作为第一申请人获得国际国内授权专利20余项，代表发明有绝缘层上铌酸锂、利用聚焦离子束加工亚微米周期铁电畴结构和离子声学显微镜等。
欢迎老师同学们积极参加！
